另外,进入21世纪,为了延续摩尔定律,人们改进了晶体管架构方式,但光刻机光源波长卡在了193nm上。这造成的后果是光刻“画”出的线条不够细致,阻碍晶体管架构的实现。要解决这个问题,最直接的方式就是把光源波长缩短,比如尼康、SVG等厂商试图采用157nm波长的光线。
实践中,实现157nm波长的光刻机并不容易。首先,157nm波长的光线极易被193nm光刻机使用的镜片吸收;其次,光刻胶也要重新研发;另外,相比于193nm波长,157nm波长进步不到25%,回报率较低。但在当时,这似乎是唯一的办法。
到了2002年,时任台积电研发副经理林本坚提出:为什么非要改变波长?在镜头和光刻胶之间加一层光线折射率更好的介质不就行了?那么什么介质能增加光的折射率呢?林本坚说,水就可以。与干式光刻技术相对,林本坚的技术方案被称为浸没式光刻技术。经过水的折射,光线波长可以由193nm变为132nm。
以上就是铝布线工艺和干式光刻技术面临的困境,2001年到2004年期间,半导体制造一直被这两个问题所困扰。当时解决掉这两个问题的是ASML和台积电,凭借此役两家公司正式走上各自领域的引领者位置,随后经过十几二十年的发展,双双在市值方面碾压业内巨头英特尔。
前世唐笑就是半导体从业人员,对这一段历史自然是了如指掌的,甚至他还为此查阅了大量的资料。如何解决这两个问题,解决这两个问题时需要注意哪些方面,可以这么说,目前世界上就没有人比他更清楚。
前人走过的路再走一遍,对唐笑来说就好比照着标准答案再抄一遍那么简单,完全没有任何难度。只是他毕竟不是晶圆代工方面的从业者,有些细节他虽然清楚,但是让他去具体执行,他却是完全没有能力做到的。
这才有了先前唐笑说一些关键人员宁可帮忙支付违约金也要让他们马上进入工作状态的话语,时间很紧张,谁知道台积电或者ASML就想到了同样的解决办法,不能提前在专利上完成布局,还怎么进场参与竞争。
真论起来,唐笑唯一的对手应该是那个虚无的、飘忽的、但是又实实在在存在的叫做时间的东西。时间很紧迫,这是压在唐笑胸口最大的石头,他已经意识到了一件事情,那就是接下来的他,每一天都需要和时间赛跑。
既然已经作出了加入台员籍的决定,唐笑也就不准备继续等下去了,正好趁着这几天没事,再去一趟法兰西。入籍和结婚的事情,虽然是今天才想到的,这里面也确实有一些功利的因素在里面,但是唐笑对凯瑟琳的情感是真实存在的,如果因为这个冷了凯瑟琳的心,实在是得不偿失。
想到了就去做,唐笑也不管现在已经是晚上,查过晚上还有班机从旧金山飞往巴黎之后,唐笑就直接招呼凯勒开车送他去机场。唐笑并不清楚老岳父有没有和凯瑟琳说这件事情,但是如果求婚都是通过老岳父的口转达的话,那就实在是太没诚意了。
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